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开展超高纯湿电子化学品、电子特气等微电子关键化学品攻关,突破“卡脖子”技术瓶颈,助力湖北建成国内一流的电子化学品生产基地。
微电子关键化学品
芯片的蚀刻机理研究、添加剂筛选、CMP工艺研磨液、后清洗液以及光刻胶显影液、剥离液等新产品开发。
主要研究内容
1.超高纯湿电子化学品
2.高性能配方化学品
3.电子特气纯化技术
电子化学品原料纯化通用技术、多级纯化技术等。
开发6N级别气体纯化技术(气体深度净化以及除水、除氧等)、研究应用电子特气专用气瓶以及安全、高效的气体充装技术。
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